二手 SHIBAURA CFS-12P-100H #32091 待售

SHIBAURA CFS-12P-100H是一種最先進的蝕刻器/asher,它使用戶能夠通過使用專門的等離子體、氣體和熱處理技術來獲得卓越的蝕刻和灰化效果。CFS-12P-100H能夠對包括矽、玻璃、陶瓷和金屬在內的各種材料進行各向同性和各向異性蝕刻和灰化。該設備設計用於在100級或1000級潔凈室中直接安裝,其性能已測試為每小時100件。該機組的加工室采用不銹鋼建造，並配有密封真空室、石英管/陰極、加熱器和石英板。此外,獨特的雙密封設計可防止腔室之間的汙染,而先進的射頻電源輸送設備可在整個過程周期中準確控制輸入電源。退火清洗系統采用陶瓷加熱器和集成換熱器，以提供精確的溫度控制和消除熱過沖。SHIBAURA CFS-12P-100H還配備了先進的可變RF功率傳遞單元，提供對輸出功率的優越控制，而獨特的雙腔等離子體機器則允許最大深度的蝕刻和低溫操作。CFS-12P-100H還與各種氣體和化學品兼容，非常適合廣泛的蝕刻和灰化應用。該裝置是為安全和可靠性而設計的，配備了多種安全裝置，以保護加工室、射頻發生器和用戶免受可能的危險，並在緊急情況下采用集成式自動關機。總體而言,SHIBAURA CFS-12P-100H是一款高級蝕刻器/asher,專為卓越的蝕刻和灰化性能而設計,允許用戶以最安全的方式獲得最高質量的結果。