二手 SHIBAURA ICE 300 / CDE 300 #9097207 待售

SHIBAURA ICE 300 / CDE 300
ID: 9097207
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Asher, 12" (2) Chambers 2003 vintage.
SHIBAURA ICE 300/CDE 300 蝕刻器/asher是一種高性能的自動化陣列設備,可精確快速地處理尺寸達到300 mm的基板表面。該模型能夠產生高達5微米的非常高的分辨率。它配備了強大的模塊化軟件控制蝕刻系統,可以容納多種工藝化學物質。該單元設計用於支持復雜的基板,包括石英、集成電路基板和地形不均勻的整體基板。ICE 300/CDE 300有幾個特點,包括高精度機械臂、用於清潔基板表面的精密洗滌器和高頻超聲波發生器。自動臂能夠以納米精度將基板精確定位在蝕刻機上。強大的洗滌器可以從基板表面去除極其薄薄的材料層,從而在圖樣制作過程中實現無縫過渡。高頻超聲發生器確保了一致和均勻的蝕刻深度。SHIBAURA ICE 300/CDE 300利用強大的運動控制軟件,精確控制蝕刻深度和放置,以及溫度、濃度、時間等工藝參數。此軟件使用戶能夠以數字方式預覽和控制相鄰模式之間的空間差異。其他軟件控制功能包括基板處理研究、測試輪詢和數據監控。它們旨在減少設備停機時間並優化吞吐量。ICE 300/CDE 300還利用各種安全協議來確保以安全可靠的方式運行。這包括一臺對二氧化碳和高頻濃度進行監測的排氣舉報機;監測電流泄漏的地面故障保護工具,以及防止操作員處理不當的人機互鎖資產。SHIBAURA ICE 300/CDE 300是一款先進的蝕刻器/asher,旨在支持濕蝕刻、幹蝕刻等各種工藝技術。它以極其精確和快速的處理速度提供高精度的陣列設計功能。這款蝕刻器/asher得到了一個強大的軟件模型的支持,該模型能夠準確高效地控制其所有功能,同時還提供了多種安全協議。憑借其先進的功能,這臺機器是一種非常可靠且經濟高效的陣列化服務解決方案。
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