二手 SHIBAURA ICE 300 #9405111 待售

SHIBAURA ICE 300是一種幹蝕刻、化學輔助等離子體系統，用於高精度微圖樣。這種設備非常適合用於學術界、微電子學和生物制造。它是一款用途廣泛、可靠、用戶友好的蝕刻器/asher，適用於半導體、玻璃和陶瓷等多種材料。ICE 300是用13.56MHz發電機建造的，提供精確高效的材料蝕刻到納米級。發電機還提供了高度穩定的壓力控制，因此可以實現精確的蝕刻深度。發電機連接到一個壓力室、一個氙氣、氧氣和/或氮氣的來源和一個微波沈積系統，給工具精確操縱蝕刻深度、掩模水平、蝕刻角度和蝕刻寬度。SHIBAURA ICE 300有一個電子束槍，用來定義邊緣和遮罩邊界。它有一個光學梯度樣品運動系統，可以快速準確地設定所需的蝕刻角度。它還具有全回路射頻電源控制,使用戶能夠快速實現所需的蝕刻,並以高精度和重復性重復其結果。為了安全起見，ICE 300有一個反射窗口，可以防止高能粒子在蝕刻和灰化過程中撞擊人員。這是一個閉環過程，有很多冗余的地方，以防止任何重大事故。SHIBAURA ICE 300是一種通用工具，能夠蝕刻氧化鋁和矽片、SiO2/SiN、聚合物和有機材料等多種材料。它還提供了制作微型圖案的絕佳機會,包括50 µm以下的特性。它也是一種人性化的蝕刻器，這就是為什麼它適合微電子和生物制造應用的原因。總之，ICE 300是微電子、生物制造和其他實驗室應用的優秀蝕刻器和粉碎器。它提供精確的陣列和卓越的可重復性,是各種應用程序的可靠且用戶友好的工具。