二手 SHIBAURA ICE/RPA 300 #9405822 待售
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單擊可縮放
ID: 9405822
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Remote plasma ashing system, 12"
Gases: O2, N2, He, H2, Ar, CF4
APC Pressure control
Strong electric board
Atmospheric loader
ASYST LP
Power supply:
KYOSAN PC1 Source RF power supply: 3 kW
KYOSAN PC1 Vias RF Power supply: 1 kW
DAIHEN PC2 Microwave power supply: 3 kW
2005 vintage.
SHIBAURA ICE/RPA 300是一款高級蝕刻器/asher,專為大容量工藝應用而設計。它為蝕刻/灰化結果提供了完美的精度和準確性。該機由緊湊的底座和剛性的空白保持單元組成,帶有機動負載和驅動系統,便於使用。其先進的控制制熱系統提供100°C至600°C的溫度控制能力,精度為+/-3 °C。加熱盒具有獨立的冷卻電路,可實現快速的響應時間和穩定的溫度。SHIBAURA ICE/RPA 300具有強大的可編程控制器,能夠控制速度、溫度、電流、功率和壓力等過程參數。控制器能夠存儲多達32個處理配方,以便在無需手動輸入的情況下快速運行流程。它配有彩色觸摸屏和擴展的控制面板,幫助操作員準確設置和監控他們的工藝配方。該機裝有一個強大的真空泵,可維持真空高達10-5 torr&可在一定壓力範圍內操作,以創造和維持所需的蝕刻/灰化環境。泵通過真空調節器進行保護,以保持真空以進行精密蝕刻/灰化。SHIBAURA ICE/RPA 300還配備了壓力表和臭氧開啟/關閉開關,可幫助操作員維持其過程控制。該機器在設計時考慮到輻射安全,並使用紅外輻射屏蔽,以降低暴露於危險水平的風險。防護罩包括安全切口和溫度傳感器,設計用於在必要時啟動系統關閉。SHIBAURA ICE/RPA 300非常適合用於制造、醫學和研究應用。該機具有精密蝕刻/灰化功能,能夠快速、準確地蝕刻/灰化各種材料。該機耐用、可靠、易用,是大批量工藝的絕佳選擇。
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