二手 SHIBAURA / SHIBATEC ICE 200 #9404529 待售

SHIBAURA/SHIBATEC ICE 200是晶圓級工藝和熱工藝的蝕刻器/粉碎器，在半導體工業中廣泛使用。該設備能夠為晶圓加工提供高精度和高速度，以及高精度和快速的熱處理。SHIBAURA ICE 200的蝕刻/灰化過程分三個階段進行，以確保最大精度和產量。第一步是通過脫脂和洗滌劑工藝清洗晶圓表面。該工藝采用多速率晶圓處理設備進行優化，該設備對接觸力敏感，能夠進行高速處理。清洗過程完成後,下一步將涉及晶片表面的蝕刻或灰化。SHIBATEC ICE 200設計用於各種氣體、等離子體氣體和化學物質，允許對各種材料進行蝕刻/灰化。蝕刻/灰化過程的最後一步包括鈍化過程，該過程可幫助保護成品晶片免受環境汙染。鈍化有助於保持材料的特性，以及保持其電氣和光學性能。ICE 200能夠提供長達五小時的鈍化過程。為了確保最大精度，SHIBAURA/SHIBATEC ICE 200配備了集成視覺系統。這個單元包括光學顯微鏡，其可調分辨率高達常規視覺機器的五倍。該工具還允許更精確地對準和定位晶片，從而能夠更快、更精確地進行蝕刻/灰化。SHIBAURA ICE 200還配備了高效冷卻資產，能夠提供至-30 °C的冷卻能力。此模型有助於防止材料熱損壞,同時確保始終高效運行。綜上所述，SHIBATEC ICE 200是一種為晶圓加工和熱處理而設計的蝕刻器/asher。這種用途廣泛的設備在三階段過程中提供了極其精確和快速的蝕刻/灰度處理,並包括一個集成的視覺系統以實現更高的精度,以及一個高效的冷卻單元以實現更可靠的性能。