二手 SHIBAURA U-ASH8100 #9226215 待售

SHIBAURA U-ASH8100是一種高性能的幹式蝕刻和灰化設備，具有極好的工藝靈活性和均勻性。該系統利用離子束和電子沖擊來有效蝕刻和粉刷各種材料，包括矽、低k和先進的光刻膠。蝕刻器配備了可靠、易用、直觀的用戶界面，使處理變得簡單高效。它最多可配置三個加工室，可在單室或雙室單元操作中操作。該蝕刻器還具有先進的腔室清洗序列，有效地消除了加工腔室中的顆粒和薄膜殘留物，顯著提高了工藝可靠性。SHIBAURA U ASH8100利用高達2000V的射頻電壓有效蝕刻和灰化薄膜。這允許在廣泛的加工溫度範圍內對薄膜材料進行深、均勻的蝕刻和灰化。這臺用途廣泛的機器可以使用單個或雙氣體噴射器操作，允許廣泛的工藝，包括反應性離子蝕刻（RIE）、離子束蝕刻（IBE）和離子束輔助熱解吸（IBT）。UASH 8100還包括一個真空法蘭，便於與其他真空系統集成。這允許用戶創建模塊化系統,然後可以實現自動化。還可以通過基於RS485或以太網的通信遠程控制和監視蝕刻站和灰化站。U-ASH8100設計在30 mTorr和2 Tor之間運行,溫度可高達1000攝氏度。該工具還配備了高級多頻調諧模塊，允許用戶根據特定應用程序的需要調整蝕刻/灰度頻率。這也提高了過程的可重復性和統一性，確保了一致的結果。SHIBAURA UASH 8100是蝕刻和灰化薄膜的絕佳選擇，提供可靠和均勻的結果。它具有直觀的界面,易於操作,其過程可重復性和靈活性使其成為工業和研究應用的理想資產。對於需要可靠、高效的蝕刻/灰化解決方案的用戶,U ASH8100是理想的模型。