二手 SHINKO SEIKI SWP #9112625 待售

SHINKO SEIKI SWP是一種專門為去除半導體材料中遊離表面上的有機抗原殘留物而設計的蝕刻器/asher。該機的特點包括先進的加熱氣體和電等離子體技術，用於清潔、精確和安全的蝕刻。集成的陶瓷淋浴板提供了工作材料的均勻蝕刻。機器還配有排氣系統，防止氣體泄漏和排放。SWP進行的過程從應用電氣使一室殘留氣體電離開始。這種氣體隨後通過特殊的管道移動到腔室的頂部，在此過程中被分解並電離。然後釋放產生的離子，為去除材料提供蝕刻能力。蝕刻層厚度可以通過使用一個特殊的閥門來控制氣體輸送的速度以及腔室內的壓力。然後借助氮氣和氧氣元素調節腔室大氣，控制蝕刻氣體的分解程度。結果是溢價蝕刻率對加工材料的熱損害最小。該機還具有溫度控制系統,可控制室溫與200°C之間的溫度範圍。使用低壓產生均勻而溫和的蝕刻，不會造成熱疲勞或對加工材料造成任何損害。系統被編程為在分階段蝕刻所需組件的多步蝕刻過程中運行。該過程快速高效,無需人工幹預。SHINKO SEIKI SWP還包含一個粒子和微粒探測器，用於監測蝕刻殘留物和其他汙染物。檢測器有助於確保成品清潔，不含任何有害顆粒。該裝置還具有一個自動清潔循環，可定期清除所有灰塵和微粒。SWP 蝕刻器/asher還提供了額外的軟件包來控制蝕刻過程,並且該機器能夠遠程訪問以方便操作。結合先進的技術特點，SHINKO SEIKI SWP 蝕刻器/Asher是一種高效可靠的蝕刻和灰化工藝儀器。