二手 SINGULUS Silex II cleantex 2800 #9353274 待售

SINGULUS Silex II cleantex 2800 蝕刻器/asher是一種高精度、經濟高效的蝕刻和灰化設備,可提供一致的結果。它配備了專門為滿足最終用戶和工藝工程師的要求而設計的工藝參數。Cleantex 2800是一個獨立的蝕刻器/asher系統,提供獨特的高級功能組合,包括集成的過程控制單元以及廣泛的優化功能,可快速、精確地處理光刻膠和厚層。Cleantex 2800專為矽片、厚膜材料和半導體器件的高精度蝕刻和灰化而設計。機器配備了各種蝕刻和灰化選項，如深蝕刻、口袋蝕刻、深灰化。Ashing process is actured in a closed cell where the oxygen feed rate is cairly controlled for hamogeous and repeatable results.該單元具有嚴格的工藝參數，能夠在短時間內獲得高精度結果。該工具提供了具有高可重復性的最佳過程結果。它的「快速灰化」工藝能夠對大量晶片進行高吞吐量處理。綜合流程控制資產「Smartview」提供實時數據反饋和編程幫助。此外,Cleantex 2800的「Smartdry」功能還確保在灰化後均勻幹燥晶圓,從而獲得高質量的效果。Cleantex 2800的占地面積很小，在其加工鼓中可容納多達五十個晶圓。該設備具有直觀的觸摸屏界面,便於操作。它的操作基於用戶友好的觸摸屏菜單,使用戶能夠選擇所需的參數集並快速啟動進程。該模型還支持自動化流程和編程。為方便起見,Cleantex 2800具有數據記錄功能,並提供了一個用於惰性氣體輸送的真空端口。Cleantex 2800的耐用性長,維護成本低,使其成為最終用戶和工藝工程師的絕佳選擇。它的低運營成本和高能效運行是額外的優勢，它處理各種材料的能力也是如此。高度的定制還可以讓用戶根據自己的特定蝕刻和ashing要求調整設備。Cleantex 2800是一款高精度的蝕刻器/asher,具有多種功能和選項,可提供一致、經濟高效的結果。