二手 SINGULUS / STANGL Singular #9076188 待售

ID: 9076188
PECVD System.
SINGULUS/STANGL Singular是一種完全自動化的蝕刻器/asher,旨在滿足最嚴格的蝕刻和灰化要求。該機結合了CVD、反應性離子蝕刻(RIE)和等離子體輔助蝕刻(PAE)等先進技術,用於快速、精確的蝕刻和灰化工藝。STANGL Singular先進的設計特點使其能夠處理廣泛的材料,如金屬、陶瓷、半導體和介電,以及從納米到微米的特征尺寸。SINGULUS Singular提供了廣泛的蝕刻和灰化功能-包括晶圓級層的處理、深蝕刻的雙層結構和表面陣列應用-為制造商提供了最靈活的生產解決方案。這種多功能性不僅是通過其廣泛的流程功能實現的,而且是通過用戶能夠在一次運行中快速、經濟高效地調整各種參數的方式實現的。例如,用戶可以快速準確地控制壓力、溫度、輪廓和層厚等變量,以優化每個蝕刻和灰化過程的結果。除了業界領先的靈活性和準確性之外,Singular還為用戶提供了快速加載和易於使用的機器人模塊的無與倫比的便利,該模塊可方便晶圓的加載和卸載,並有助於最大限度地減少生產和過程周期中的任何停機時間。此外,這種創新的機械有可定制的尺寸,以滿足各種空間、重量和高度限制,從而允許它在任何潔凈室或生產地板上使用,而無需修改。總體而言,SINGULUS/STANGL Singular是業界領先的蝕刻器和asher,它為用戶提供了一系列高度先進的過程功能,這些功能易於設置和操作,以及優化任何蝕刻和研磨過程所需的靈活性和便利,同時保持生產車間的高效運行。
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