二手 SORONA AT20 #9366566 待售
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SORONA AT20是一種用於為復雜基板提供最先進的蝕刻/灰化工藝的蝕刻器/灰化器。此高級解決方案具有蝕刻和灰化功能,並結合了對表面地形的精確和一致控制。這允許用戶控制和靈活性,這可以用來提供高度復雜和一致的產品。AT20具有精密制造的機箱,可提供輕巧但有效的鉆機和有效的精密伺服電動機,以提高速度和精度。該鉆機專為理想且可重復的工藝而設計,允許用戶在同一基板內快速切換蝕刻和灰化。SORONA AT20還擁有各種有用的指示燈LED,這些指示燈可立即提供蝕刻/灰度處理進度的反饋,並可選擇對操作員友好的觸摸屏控件,方便靈活地訪問實時數據記錄功能。AT20蝕刻/灰化工藝套件包括一個可調節位置的底板、一個可選的帶狀加熱器、一個可選的氣體流量計和一個可選的探針卡支架。底板的設計可容納各種尺寸的基板,即使是最復雜的基板也能實現可靠、準確的蝕刻。帶狀加熱器的設計是為了提供額外的熱源,以幫助減少傳熱到周圍的結構。氣流計允許實時測量氣流,以提供對蝕刻和灰化過程的精確控制。SORONA AT20設計為裝載一個或多個可選的探針卡持有者,以創建高效、可重復的蝕刻/灰化環境。蝕刻/灰化過程周期在強大的液體冷卻存儲模塊中執行,以確保最佳的過程一致性和可重復性。AT20的液體冷卻系統熱力學效率高,具有快速可靠的蝕刻/灰化性能。此外,系統還使用實時缺陷檢測和閉環反饋等先進技術來確保結果一致。總之,SORONA AT20蝕刻/灰分系統是生產精密、柔韌性高的優秀蝕刻和灰化基板的可靠解決方案。它為用戶提供可靠的蝕刻/灰燼環境以及準確的過程控制、指導和反饋。其可靠的性能和經濟高效的設計使其成為各種制造和研究應用的理想蝕刻/灰化解決方案。
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