二手 SORONA SIE-3102 #9366568 待售

SORONA SIE-3102是一種先進的蝕刻和灰化機，能夠為各種基材提供精確的蝕刻和灰化。本機使用水平和垂直對齊的蝕刻臺，以確保精確定位和最佳蝕刻結果。SIE-3102有一個內置的幹式清洗系統，它可以清除碎屑，以提供清潔的真空蝕刻和灰化環境。蝕刻臺能夠提供直徑最大為5英寸的內部蝕刻區域,蝕刻速率範圍從0.005 mils/min到20 mils/min。SORONA SIE-3102有一個真空室，利用離子泵送達到-28 torr的真空水平，用於蝕刻大型基板而不受汙染或損壞。該機還具有類似反應性離子蝕刻的同時熱氧化矽去除能力，可以達到高達1300 °C的溫度。SIE-3102利用磁場提供高選擇性和高鏡像清晰度的電子束和離子束蝕刻或灰化。這臺機器能夠蝕刻到高達0.5um的深度，適用於高長寬比物體。它還具有高達20 nm/min的熱氧化物去除速率，以及高達10 nm/min的晶圓背面鈍化速率。蝕刻/灰化是在用戶友好且簡單的多軸控制環境下執行的。SORONA SIE-3102還具有內置的圖像處理軟件,使用戶能夠調整蝕刻參數以獲得最準確的結果。借助該軟件，用戶可以輕松生成高清晰度和保真度的蝕刻圖樣。此外，機器還有一個實時監控系統，允許用戶觀察蝕刻過程，同時做出蝕刻過程中所需的任何調整。總體而言，SIE-3102是一種先進的蝕刻和灰化機，可以為各種基材提供精確和精確的蝕刻。這臺機器用戶友好、直截了當，還具有可調真空系統、熱氧化物去除能力和圖像處理軟件，可獲得準確的結果。SORONA SIE-3102適用於大小形狀各異的基板，可用於創建高保真度的高清圖像。