二手 SPP MUC 21-098 #9239652 待售

SPP MUC 21-098是一種專用設備,主要用於半導體工業中的蝕刻和/或灰化。它具有三維腔室結構，處理體積大，能夠處理直徑達6英寸的樣品，大大提高了吞吐能力。蝕刻器/asher提供了許多自動化選項,例如計算機控制的處理以及機器人技術和數據管理的開放式體系結構。它配備了三源兩級射頻發生器，頻率範圍從13.56 MHz到50 MHz，並且能夠進行優化的工藝以產生可重復的結果。等離子體源設計用於同時處理ICP和電容耦合模式的操作。這些氣體由石英管感應耦合等離子體（ICP）特性加熱，對中央桿和限制環的功率有獨立的控制，允許優化過程監測。灰化過程依賴於基於射頻的蝕刻源，以及磁力驅動的氣體分配系統，用於整個腔室的均勻基板蝕刻。自動快門選項進一步確保了精度和可重復性,能夠在需要時在四個不同方向之間切換。MUC 21-098還結合了多模式超音速源，以實現更高的蝕刻速率和特征精確的輪廓控制。超音速噴嘴以三種模式運行，根據工藝要求量身定制，允許清潔、光滑的墻壁和圓形特征墻。SPP MUC 21-098另外還支持可選的樣品提取，配有可支持高達25毫米樣品高度的精密級移動裝置。樣品有助於確保均勻蝕刻和均勻的互連線。最後，MUC 21-098有一個內置的安全系統，由一個壓力聯鎖門和一個接近傳感器組成。這樣可以確保蝕刻器/asher始終安全運行。