二手 SPPT / SPTS CPX-APS #293648886 待售

SPPT/SPPT/SPTS CPX-APS是一種高級蝕刻器/asher，用於矽蝕刻、SILC蝕刻、鎢蝕刻、鋁蝕刻等工藝。此設備非常適合大多數高級蝕刻工藝,包括高長寬比和高選擇性工藝。它使用射頻（RF）和直流電（DC）電源的獨特組合運行，從而實現更大的過程控制和精度。SPPT CPX-APS是一個完全集成的、堅固的蝕刻室系統,設計用於單個單元中的蝕刻和灰化薄膜沈積（TFD）工藝。它配備了一個用戶友好的觸摸屏Human Machine Interface （HMI）控件,可以在單個進程運行中輕松編寫多個蝕刻/灰分序列的程序。這種蝕刻器/灰化器提供了廣泛的工藝參數，包括室溫最高250*C，蝕刻/灰分壓力最高187 mTorr，以及合用的氙/氧化學方法，以實現最佳工藝性能。SPTS CPX-APS為IC級制造提供了出色的工藝一致性、可重復性和速度。該蝕刻器具有200 nm氧化速率調平單元,可在不犧牲速度的情況下對特征進行非常均勻的蝕刻。該機還能進行深溝蝕刻，長寬比高達10：1及更高。此外,還具有經過優化的過程控制的3D蝕刻/剖析功能,可產生非常高的過程重復性和精確度,並將IC降級降至最低。CPX-APS旨在滿足IC的嚴格安全要求。該工具具有創新的安全保護資產,可準確檢測流程故障並提供實時通知。它還具有一個集成的真空互鎖模型，通過在過程過度蝕刻或放氣時自動關閉腔室來防止不可擦除的IC損壞。SPPT/SPTS CPX-APS還配備了多種高級診斷工具，包括實時診斷、機器和過程狀態診斷以及過程數據。設備的先進特性和能力使其非常適合大批量的IC生產和極端的工藝要求。此外，邊緣隔離控制系統的特點可以減少邊緣的緩慢移動，提供額外的邊緣保護，提高設備的可靠性。總之,SPPT CPX-APS是一種功能強大且用途廣泛的蝕刻器/Asher,具有先進的蝕刻和灰化功能,具有卓越的工藝控制功能。它具有先進的安全功能和廣泛的用戶友好功能,非常適合IC制造。該裝置提供卓越的工藝重復性和準確性，以及優異的工藝性能和均勻性。