二手 SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648861 待售

SPPT/SPTS VPX Pegasus是一種先進的蝕刻和灰化設備，用於高分辨率光刻加工。由SPIC Technologies開發，這種裝置以非常精確可靠的方式，用於蝕刻和灰分材料，如矽、SiO2和聚合物。SPPT VPX Pegasus附有一系列特色，包括一個整體式、12管定位級、可靠的石英真空室、多區氧化和高分辨率電容提取激光幹涉儀（CELIF）。所有這些組件都有助於確保蝕刻和灰化材料時的準確性和質量。12管定位階段有助於確保所有蝕刻和粉刷材料在加工前都完全對齊。這是通過各種調整參數完成的，包括位置分辨率和精度、加速度、速度和線性。另一方面，石英真空室為蝕刻和灰化過程提供了可靠、安全的環境。它由固體基平臺和不銹鋼墻組成，防止任何有害蒸氣進入工作區。此外，石英真空室還配備了自動真空系統和充滿石墨的內部，確保了極長的壽命。高端CELIF激光幹涉儀，用於精確的高分辨率電容提取。其先進的掃描能力能夠測量過程中的表面汙染，同時提供測量反饋。這樣可以確保在蝕刻和灰化過程中達到並保持最高精度。最後，SPTS VPX飛馬單元還能夠通過其專有的多區氧化技術進行多區氧化。利用這一技術，用戶可以在各種類型的基材和材料上應用多種熱氧化工藝，從而獲得所需的層厚度和蝕刻/灰化結果。總體而言,VPX飛馬是一個強大而可靠的蝕刻和灰化機.通過一系列的特點和尖端技術，它能夠提供精確和一致的結果。從蝕刻，到灰化甚至多區氧化，SPPT/SPTS VPX Pegasus保證把任何蝕刻和灰化工程變成一個成功的項目。