二手 SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648863 待售

SPPT/SPTS VPX Pegasus是由SPPT Technologies開發的蝕刻器/asher，SPPT Technologies是半導體及相關行業先進制造解決方案的領先創新者。這種通用的蝕刻器/灰化器設計用於執行氧化、金屬蝕刻、沈積和平面化過程,最大程度地減少基板損壞和工藝變化,同時確保多種基板的質量一致。SPPT VPX Pegasus利用微定位器，允許用戶精確控制蝕刻、氧化和平面化的速率，同時在過程中保持均勻性和可重復性。此功能允許快速準確的過程校準,提高吞吐量和準確性。此外，飛馬的創新真空設備和腔室設計有助於減少汙染並確保最佳等離子體條件，從而實現卓越的蝕刻和氧化效果。SPTS Pegasus具有強大但易於使用的控制系統,可實現精確的過程控制和單元監控。用戶友好的界面可確保快速準確的流程參數,同時方便地訪問高級計算機和流程設置。這樣可以實現可重復性和改進的過程優化。為了提高質量和可靠性,SPPT/SPTS Pegasus還集成了安全機制,包括自動過程安全檢查以及可選的安全、安全和程序警報。為確保最高安全標準，工具對所有安全狀況進行監控，並自動檢測任何缺陷以采取糾正措施。SPPT Pegasus是一種多用途蝕刻器/asher，能夠進行濕和幹蝕刻、氧化和沈積以及平面化過程。憑借其廣泛的工藝能力，用戶能夠在各種基材和材料上創建復雜的結構。SPTS Pegasus還設計為可配置,這意味著用戶可以根據自己的特定需求定制資產。這使得它成為那些需要可靠和高效的工藝來蝕刻和平面化各種材料和基材的人的理想選擇。