二手 SPPT / SPTS VPX Pegasus #293655827 待售

SPPT / SPTS VPX Pegasus
ID: 293655827
晶圓大小: 6"
IPC System, 6".
SPPT/SPTS VPX Pegasus是一款先進的蝕刻和灰化器,旨在在要求最苛刻的工藝中提供最高精度的蝕刻和灰化。飛馬采用堅固的工業級部件開發,旨在在半導體制造過程中提供最大性能和可靠性。飛馬可以通過一系列的材料如矽、石英、的來蝕刻和作為界面幾何形狀,以及多種表面處理。SPPT VPX Pegasus可以獲得高質量的結果,這是由於它能夠精確控制蝕刻過程,以及其高度可重復的結果,這對於在整個制造過程中保持過程一致性至關重要。SPTS VPX Pegasus因其靈活、易於配置的控制系統而設計用於高度自動化的制造環境。蝕刻器能夠有效地蝕刻和作為一系列復雜的幾何形狀,使用戶能夠獲得最高的制造精度。蝕刻器還配備了廣泛的蝕刻選項,包括多級蝕刻,因此為特定應用量身定制蝕刻工藝。飛馬還提供了可選的渦輪脈沖功能的靈活性,使蝕刻工藝能夠針對被蝕刻或粉刷的材料進行優化。飛馬能夠實現高水平的速度和準確性以及低水平的汙染,保持正在制造的設備的完整性。這要歸功於在整個蝕刻和灰化過程中監控多個參數的各種集成安全系統,如工藝氣體、冷卻劑溫度、腔室壓力和工具的機械對準,從而提供了對敏感部件潛在損壞的保護。VPX Pegasus是要求最高速度、精度和可靠性的要求最苛刻的制造應用程序的理想蝕刻器和asher。它采用了最新的技術和功能,使用戶能夠獲得最高質量的結果,同時還提供了安全可靠的蝕刻和灰化過程。
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