二手 SPS Plamax #293664085 待售

SPS Plamax
ID: 293664085
Plasma cleaner.
SPS Plamax是一種用於半導體器件制造工藝的高性能蝕刻和灰化系統。它是一種高溫自動蝕刻和灰化裝置,旨在方便短期和高溫持續灰化的應用。Plamax包括三個主要組件:一個爐子、一個射頻發生器和一個RIE工具。該爐的溫度範圍高達1100 °C,可提供精確控制的快速溫度坡道能力。它還包括垂直升力處理,這使得工具可以處理從200毫米到400毫米的各種基板。射頻發電機提供可變功率輸出,使其能夠蝕刻和灰化厚材料。射頻發生器還具有從Ar/O2到SF6/O2的廣泛的加工氣體混合物,允許對蝕刻和灰化結果進行高度控制。RIE工具提供精確的蝕刻深度控制和平滑的蝕刻和灰度,允許更高的長寬比和更好的長寬控制。它還有一個自動化的過程控制系統,允許高精度、可重復的過程以及最大程度的可重復性和一致性。SPS Plamax能夠進行批處理和單晶圓配置。自動卡帶-卡帶-卡帶傳輸允許無縫晶片處理和快速操作。特殊模塊可用於控制基板位置,從而提供精確的對準,並最大限度地減少晶圓結構不均勻的影響。Plamax專為提供高產、高精度、快速蝕刻和灰化加工而設計。其卓越的工藝控制能力和可靠的系統性能使其成為設備制造的首選。SPS Plamax具有通用的工藝功能,可用於在各種基材上對各種厚度的材料進行蝕刻和灰化。
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