二手 SPTS Delta FxP #293800451 待售

SPTS Delta FxP是一款先進的等離子體蝕刻器/asher，用於半導體行業的精密和高性能蝕刻和灰化工藝。此通用工具旨在滿足先進半導體制造的苛刻要求,為微電子、MEMS和其他新興技術提供了一系列工藝能力。Delta FxP具有雙頻電源,具有射頻（RF）和微波（MW）兩種功能,可增強過程控制和靈活性。這種雙頻功率功能使設備能夠實現更廣泛的工藝條件,從而在各種基材材料和尺寸上實現更好的蝕刻和灰分均勻性。SPTS Delta FxP的主要特點之一是其先進的工藝室設計，針對高通量和低顆粒物生成進行了優化。腔室配有氣體註入系統、射頻偏置和溫度控制的組合，以確保對蝕刻和灰化過程的精確控制。此設計允許一致的過程可重復性和性能,這對於大容量半導體制造至關重要。Delta FxP還具有先進的氣體輸送系統，能夠精確控制氣體流量和混合物。這一單元對於實現所需的工藝化學和性能至關重要，因為不同的氣體和氣體混合物用於蝕刻或灰分特定材料，選擇性和均勻性都很高。機器配備了先進的端點檢測功能，允許實時監控蝕刻和灰化過程。這使工具能夠精確控制工藝端點,確保去除所需的物料量,而不會過度蝕刻或損壞底層。端點檢測資產有助於提高過程控制和可重復性,從而提高產量和設備性能。SPTS Delta FxP還配備了能容納各種尺寸和厚度的晶片的高性能基板處理模型。該設備可以同時處理標準和高度敏感的基板，為不同的工藝應用提供所需的靈活性。基板處理系統旨在最大限度地減少顆粒的產生，並確保在蝕刻和灰化過程中基板的正確對準和接觸。總體而言，Delta FxP是一個最先進的等離子體蝕刻器/asher單元，為半導體制造提供先進的功能。其雙頻電源、先進的工藝室設計、精確的氣體輸送機、端點檢測能力以及基板處理工具，使其成為大批量生產和研究環境的理想工具。SPTS Delta FxP具有卓越的工藝控制和性能,是尋求以高精度和可靠性實現先進半導體器件制造的公司的寶貴資產。