二手 SPTS Multiplex ASE ICP #9158122 待售

SPTS Multiplex ASE ICP是SPTS Technologies Ltd提供的Multiplex ASE系列產品的等離子體蝕刻器/灰化器。SPTS總部設在歐洲，在蝕刻和沈積行業積累了多年的專業知識，為等離子體蝕刻和半導體基板灰化提供了一套功能齊全的工具。多路復用ASE ICP是一種電感耦合等離子體（ICP） asher/etcher,具有獨特的緊湊設計,采用了最新的單室RF和ICP源技術。該產品能夠在高達400攝氏度的工藝溫度下在多個基板上同時進行復雜的蝕刻/灰分工藝。該工具還配備了專有的滅火除塵設備和致癌系統，旨在最大限度地減少水凝結，並提供優越的灰化工藝。SPTS Multiplex ASE ICP是用於2D和3D設備結構以及超淺結（USJ）過程的理想工具。其ICP源具有出色的蝕刻/灰度均勻性和過程可重復性,可實現高吞吐量和可重復結果。射頻源具有自動調諧單元,可消除調諧和頻率優化時間。這臺機器還確保了穩定和一致的蝕刻/灰化，同時最大限度地減少了底物對射頻能量的暴露。多路復用ASE ICP的ICP源和RF源可以精確配置,以便優化難以蝕刻/灰化的過程。這套工具還具有先進的壓力和溫度控制功能，使其能夠對基材特性和工藝均勻性進行精確的工藝控制。SPTS Multiplex ASE ICP具有廣泛的功能,可提供廣泛的蝕刻/灰燼應用。它具有高密度的卡盤頂部塗層，能夠進行高密度的ICCD蝕刻工藝，並且該工具還能夠蝕刻/灰化一些最具挑戰性的金屬，如鎢、TiN、氧化銅、Mo和Co.此高級工具集還提供了靈活匹配的處理時間,允許用戶根據自己的特定需求自定義其處理工作流。總體而言,Multiplex ASE ICP是一個功能強大、緊湊且用途廣泛的工具集,它使用戶能夠同時在多個基板上蝕刻/清除各種不同的基板材料並執行復雜的蝕刻過程。其先進的工藝控制系統和精確的蝕刻參數使其成為2D和3D設備結構以及超淺結（USJ）工藝的理想工具。