二手 SPTS MVD150 #9280194 待售

SPTS MVD150是為包括MEMS、光子和3D集成制造在內的一系列應用而設計的高級蝕刻和灰化設備。在25 MHz和130 MHz的頻率下使用射頻（RF）技術，在從-50˚C到1000˚C的各種溫度控制過程溫度範圍內，對圖樣材料進行高度選擇性和精確的去除。該系統的主要特點包括無與倫比的300 x 300 x 150 mm腔室尺寸、高達1000 slm的高氣流真空單元、用於精確流量控制的磁流和質量流控制器，以及用於長期加工的遠程基板技術。該機提供高級過程控制,包括計算機對過程參數的控制.它能夠通過一系列傳感器和監視器持續反饋和監控,確保嚴格控制臨界晶圓溫度、壓力和定位。此外，多種工藝控制參數，如腔室壓力、射頻功率和蝕刻深度，都可以進行編程和優化，從而產生優異的效果。該工具還配備了一套蝕刻和灰化化學輸送系統，提供了選擇精密工程蝕刻和灰化所需的化學物質的通用能力。它經過了優化，可以與廣泛的工藝化學方法一起工作，以優化特定材料組合的工藝。再者，該資產經過測試合格，符合廣泛的行業標準，使其能夠滿足嚴格的質量和安全要求。它設計用於最佳可重復性、清潔性和低擁有成本,並具有ANSI/RIA NIST-2011、ISO 9001：2015、符合太平洋理事會會議廳（PCC）和符合SEMI S2的認證。它的低壓模式（LPV）允許在灰化過程中一致和精確的操作，有助於減少過程和統計變化。最後，該模型還具有生產規模蝕刻和灰化的一系列支持，包括協議庫、遠程監控設備和自動裝卸系統。MVD150蝕刻系統是工程師和制造商的理想選擇,他們希望找到一個能處理各種材料和工藝的強大而精確的蝕刻和灰化裝置。它提供了一種尖端的蝕刻/灰分生產方法,允許一致和可重復的結果,同時節省時間、資源和金錢。