二手 SPTS Omega FXP #9186561 待售
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已售出
ID: 9186561
晶圓大小: 8"
優質的: 2012
Rapier plasma etch system, 8"
(3) Electronics control cabinets
(4) Main system chillers
(5) Upgrade kits, 8"
(2) DSI Rapier process module
Wafer transport module: fxP
Multi chamber system
Standard system features:
(4) Color alarm towers
Bracket-mounted high resolution color
TFT Monitor with keyboard
Thru wall panel
PC104 Control architecture
Devicenet control module:
Pendulum valve
MFCs
Pneumatics
Fore-line convectron
Thermocouples
Electronics rack
Cable: 10 m
Electronics cabinet
CE Compliant
SEMI -S2 Compliant
(2) System manuals on CD
Conversion kit, 8"
Rear control station
fxP Transport module:
(8) Port wafer transport modules
Brooks MagnaTran 7 series robot
(2) Fixed vacuum cassettes
Dynamic wafer aligner
DSi Rapier process module:
Bosch process deep Si module
Rapier plasma source
Module envelope contains
Process control hardware
Control unit PC104
AE Apex RF generator:
Primary source
Secondary source
Bias - HF
Bias - LF
RF Bias match
Top power fixed match
DC Coil supply
Heated VAT pendulum valve
Electro-static chuck
PSU / He back-pressure control
Heated lower chamber
DSi Upper chamber / Foreline
Extracted surface mount gas boxes:
Primary
Secondary
ALCATEL ATH2300MT turbo pump
Automated He flow endpoint
Turbo by-pass for module roughing
Chamber capacitance manometer (1.0 torr)
Foreline mini-capacitance manometer
Wafer edge protection ring
Perfluoroelastomer seals
Options:
Claritas optical endpoint system
Ancillary equipment:
Re-circulating chiller (Bettatech CU700)
Chills platen
ADIXEN ADP122LM
ADIXEN ADS602H
THERMO Flex 24000 NESLAB chiller
Chills pumps
Includes:
Main chamber
Handler
Control cabinet
Computer holder
(2) Pumps
Spare parts
2012 vintage.
SPTS Omega FXP是為高批量生產和可靠性而設計的蝕刻器或asher。該設備具有許多獨特的特點，使其能夠同時準確地處理多個過程步驟。該系統基於SPTS Technologies獲得專利的350 mm晶片負載鎖定交換機制,可實現最多三個並行的過程步驟,以實現快速吞吐量。腔室的設計和工程確保了一個可靠的過程，最小的停機時間和最小的人工幹預。該裝置可配備一系列選項，如化學輸送系統、高RIO、屏蔽電鍍以及用於定制應用的附加配置。SPTS OMEGA FXP利用高分辨率圈速控制和閉環端點監控，以確保準確和可重復的處理。它配備了各種氣體供應和控制選項，以支持需要精確氣體控制的蝕刻化學和蝕刻工藝。該機還具有專有的過程噴射監視器，它提供了關於壓力、溫度和蝕刻速率的實時數據。此數據可確保流程參數在所需的範圍內,並可用於調整配方和確保一致且可重復的流程結果。該工具的集成硬件測試和評估（HTE）軟件允許在生產前對可重復的過程參數進行高效的自動化測試。資產連接到安全網絡,以監控性能並確保操作完整性。數據可以與其他系統共享，以進行實時過程控制和配方調整。為了提高工藝性能和質量，歐米茄FXP可以與各種自動裝卸系統集成。這些系統提供自動晶片加載、卸載和傳輸，提高產量和吞吐量。該模型還配備了一系列先進的自動設備控制功能，用於增強過程控制、報警管理和配方執行。總體而言,OMEGA FXP是一款高級蝕刻器/asher,旨在滿足當今大批量生產需求,重點是可靠且可重復的工藝。SPTS Omega FXP具有先進的晶片負載鎖交換機制、容錯設計和多種工藝配置,是各種蝕刻工藝的絕佳選擇。
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