二手 SPTS PRIMAXX #293810530 待售

SPTS Primaxx是一種精密的幹蝕刻和灰化解決方案,適用於要求最苛刻的微加工要求。Primaxx利用可靠的底物旋轉元件對蝕刻化學和底物溫度進行精確控制，從而產生一貫優質的產品。通過添加低應力晶片支架,SPTS Primaxx可以加工直徑不超過200 mm的矽和復合材料。Primaxx基於最新的硬件和軟件構建,可提供廣泛的流程功能和靈活性。獨特的流程控制菜單允許用戶輕松地選擇一個獨特的配方，並在多個晶圓上重復。SPTS Primaxx具有先進的自動循環泵管理功能,無需手動補充蝕刻化學品。Primaxx設計用於研究和生產設施中的高通量生產。該系統有廣泛的蝕刻選擇配方，為高細節圖案創造了必要條件。蝕刻選擇技術還消除了頻繁洗滌的需要，確保提高了長期蝕刻精度。SPTS Primaxx還包括一個開放式體系結構、基於PC的過程控制系統,其中包含一整套用於設置蝕刻和清潔參數的過程和診斷工具。Primaxx是一款用途廣泛、功能強大的蝕刻器/蝕刻器,具有專業人員所需的所有功能,可確保嚴格的性能-包括可調節的間隙流形成、可調節的氣流控制和可調節的壓力控制設置-同時最大限度地降低消耗成本和最大化晶圓操作。它還與各種導引車和晶圓載體兼容，定期維護確保SPTS Primaxx符合最嚴格的標準。