二手 SPTS PRIMAXX #293811099 待售

SPTS Primaxx是一種高級Etch/Ash工藝工具,它在單個平臺中提供多個晶圓處理功能。其創新的設計和先進的技術允許較低的總擁有成本，使其成為半導體行業的理想工藝工具。該設備具有獨特的低功率等離子體蝕刻/灰分以及高通量無功離子蝕刻/灰分（RIE）工藝。二合一系統具有用於蝕刻和灰操作的往復式雙向電子束。它能夠處理多達200毫米的晶圓，等離子體均勻度為99.98%。Primaxx還具有快速高效的加熱單元，帶有芳香復合薄膜加熱器和電子束加熱元件。該機器能夠在不到10分鐘的時間內將晶片加熱至400 °C。這使得它能夠以更高的蝕刻速率和更高的沈積速率制造出均勻的薄膜，從而提高工藝性能。SPTS Primaxx可以加工多種材料，包括但不限於矽、玻璃、砷化​​和銨磷化物。它還可以處理MEMS、LED和光電元件等特種設備。Primaxx的運動控制工具是為高精度蝕刻和灰操作而設計的。它有一個集成的聯鎖機制，允許它在一個晶圓上進行多次操作，並有精確的定位和對齊。SPTS Primaxx運行完全自動化的軟件控制過程。它能夠進行單通道蝕刻/灰分操作以實現高吞吐量。這使得它既適合研發應用，也適合生產應用，讓用戶快速、精確地處理各種材料。Primaxx提供了廣泛的流程選項,並且可以針對特定的應用程序需求進行定制。這包括蝕刻和灰分,蝕刻和沈積,或兩者的組合.它還具有一個自動校準資產，允許晶片到晶片過程的一致性。可以遠程管理和監視自動化模型。SPTS Primaxx是一款先進的多功能蝕刻/灰燼工具,具有出色的性價比。適用於多種應用，從量產到探索性研究。其強大的功能和自動化的過程控制使得它成為半導體行業的理想選擇。