二手 SPTS Sigma Fx P300 #9289687 待售
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ID: 9289687
優質的: 2015
System
(2) HSE
Etch chamber
(3) Process chambers
MWD Degas chamber
MWD Degas chamber height: 2.5m
(2) Transport chambers / Load lock chamber
TM Chamber
OTF Sensor
(3) EFEM Load ports
Dual blade for high throughput
Labyrinth chambers
(4) Dry pumps:
iGx 600N
(3) iGx 100L
2015 vintage.
SPTS Sigma Fx P300是為半導體加工和精確的納米技術應用而設計的蝕刻器和asher設備。它是一種強大的電子束蒸發器，具有獨立精確的光束位置，用於蝕刻、濺射和其他過程。其特點包括具有卷積濾波器和模式識別的高分辨率圖像識別系統。P300采用兩部分腔室設計，具有獨特的真空包絡式結構，以確保真空完整性。這種腔室結構還通過在真空和清潔工作環境之間提供明確的分隔來減少泵送損耗和減少顆粒捕獲。Sigma Fx P 300采用多源設計,可同時執行多個沈積和蝕刻過程。這個單元還有一個自動化的舞臺和多個基板接口，以實現廣泛的配置。可以使用轉運機、機器人臂和輸送機等組件來實現大規模的生產環境。P300工具用於處理各種任務，如金屬化和介電層的沈積和蝕刻、介電結構的創建和沈積，以及高頻應用中結構陣列的3D圖樣化。它具有真空資產，能夠管理從超高真空到大氣的各種過程壓力。此外，P300在用戶控制下具有基於蒙特卡洛的曲線擬合算法，便於調整不同過程的配方。設計工具（如CAD和Physics屬性）的界面還可以很好地控制過程配方的制造。該模型還具有溫度和濕度控制功能，可用於Class1潔凈環境。其綜合報警設備和維護跟蹤提供預防性維護功能，並在必要時引發報警。SPTS Sigma Fx P300是一款功能強大、可靠的蝕刻器和asher,適用於納米技術應用,其綜合特性使其成為半導體加工的絕佳選擇。
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