二手 SPTS Sigma FxP #9353219 待售

SPTS Sigma FxP是一款先進的蝕刻器/asher設備,旨在實現高精度、高通量的蝕刻和各種材料的蝕刻。該系統結合了高水平性能和低擁有成本，使其成為研究和工業用途的理想選擇。該設備采用脈沖等離子體技術，由三個800W 13.56MHz源磁體組成，在各種材料和晶圓尺寸上提供精確、可重復的蝕刻和灰化結果。該機器由計算機控制的過程定序器控制，可以方便地定制蝕刻和灰度配方。該工具有一個板載真空卡盤，可用於處理多達4"、8"或12"晶片。Sigma FxP具有廣泛的高級功能,包括一個高分辨率的光學視圖端口以方便配方設置和監視,以及一個用於二次監視蝕刻和灰化過程的2 ″視圖端口。該資產還包括一個自動晶片加載模型，該模型可以在工藝步驟之間自動加載晶片，從而節省時間和提高效率。SPTS Sigma FxP設備還提供了足夠的靈活性,可以修改現有配方並創建符合用戶需求的自定義配方。這可以通過系統的板載配方數據庫來實現，該數據庫存儲所有蝕刻和灰化配方和參數。此外，該單位擁有較低的擁有成本，使用幾個小時後即可獲得巨大成果。總體而言,Sigma FxP蝕刻器和asher機器為高級、精確的蝕刻和灰化需求提供了一個絕佳的解決方案,擁有成本最低,效果極佳。此工具是研究和工業環境的理想選擇,因為它可以輕松定制以滿足特定需求。