二手 SPTS / STS / TRIKON Sigma FxP #293824623 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 293824623
晶圓大小: 6"
PVD System, 6"
Brooks MX 800 Handler
(2) Cassettes
(2) Vacuum cassette elevators
Aligner
Topcooler
BROOKS Robot with dual arms
Metal blades
TURBO BALZERS TMH260 Vacuum cassettes
Handler
HSE Module
(3) Dep Modules
Configuration: CTI onboard cryo 8F
Controller
Windows NT PC with pentium processor
Windows NT Datalogger PC
BROOKS T5X Techware Express Handler computer
Front touchscreen, 17"
No SMIF
Power: 380 V AC, 3-Phase
(25) Wafer slots
(5) Chambers:
HSE Chamber
(3) Dep module chambers.
SPTS/STS/TRIKON Sigma FxP是一款高度先進、用途廣泛的濺射設備,代表了薄膜沈積技術的前沿。該系統專為精度、效率和可靠性至關重要的大批量生產環境而設計。它提供了廣泛的特性和功能,使其非常適合半導體制造、微電子、光子學等行業的應用。STS Sigma FxP的核心是其濺射室,該室配有多個磁控管源,可將多種材料以高精度和均勻性沈積到基板上。這些磁控管源可以單獨控制,使沈積過程的精確調諧達到所需的膜性能和厚度。該裝置還設有一個精密的過程控制機器,實時監測和調整關鍵參數,以確保穩定和可重復的沈積結果。SPTS Sigma FxP的主要優勢之一是它的多功能性和靈活性。該工具同時支持直流和射頻濺射模式,允許用戶沈積廣泛的材料,包括金屬、氧化物、氮化物等等。此外,資產能夠處理各種大小和形狀的基板,使其適合廣泛的應用。無論您需要在小型半導體晶片或大型玻璃面板上沈積薄膜,Sigma FxP都有能力滿足您的要求。TRIKON Sigma FxP除了具有濺射功能外,還具有一系列高級過程控制和監控工具,可幫助優化沈積過程並提高生產率。該模型配備了全面的軟件套件,允許用戶設計自定義沈積配方,實時監控流程參數,並分析數據進行流程優化。這種自動化和控制的水平降低了人為錯誤的風險,並確保了一致和可靠的沈積結果。SPTS/STS/TRIKON Sigma FxP的設計也考慮到可擴展性,允許用戶根據需要輕松擴展生產能力。該設備可配置多個工藝室,使基板能夠並行處理,並在不影響質量的情況下提高吞吐量。這種模塊化的設計還可以隨著技術的進步輕松升級具有新特性或新功能的系統,從而確保您的投資保持面向未來。總體而言,STS Sigma FxP是一個最先進的濺射單元,結合了先進的技術、多功能性和可靠性,以滿足現代薄膜沈積應用的苛刻要求。無論您是半導體制造商、研究機構還是工業公司,SPTS Sigma FxP都提供了在當今競爭激烈的市場中保持領先地位所需的性能和靈活性。憑借其先進的特性和功能,該機器有望推動創新,並能夠在廣泛的行業中開發下一代技術。
還沒有評論