二手 SPTS VPX Pegasus #9051077 待售
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已售出
ID: 9051077
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
ICP (DRIE) Etcher, 8"
Configured for Deep Silicon Etching
Etch Rate: 25um/min
(1) Chamber: ICP, Pegasus
Cluster core: BROOKS MX400
Vacuum Cassette Station
Cassette to cassette auto-loading system
Windows Software control PC
PLC Based Control System
Single Vacuumm Cassette Load-Lock & Cluster Core
Central 4-port cluster core with Brooks Robot
Vacuum Cassette Handler: Brooks VCE5
Robot Arm Adapter: Brooks for 1x200mm substrates
Chuck: 8" TD-ESC (Thick Dielectric Electrostatic Chuck)
Turbo Pump: Leybold MAG2000CT
Ramped Platen Controller
Vacuum Pump: Edwards iQDP80 with Blower
RF Generators: MKS 6500W (13.56MHz) + 300/30W (13.56MHz) + LF5 500W (380KHz)
Pro Electrostatic Electrode: -20ºC to +70ºC
(4) Cartridge Heaters: Watlow, 700W, for Chamber Heating
Cleanroom Panel: (4) color Light Tower and Audible Alerts
Chiller for Coil: SMS Thermo HRZ001 - L2 - DY
Chiller for Platen: SMS Thermo
HRZ002 - W - D- Platen Chiller Temp Monitoring
Platen Chiller Temp Monitoring
Includes High Reliability Upgrade
Offers the most advanced technology for DRIE of Silicon
Deep Silicon Trench Package
Switched SOI process upgrade
Smooth Sidewall Package including digital MFCs mounted on source
Gas configuration:
C4F8 @ 400 SCCM
SF6 @ 1200 SCCM
O2 @ 200 SCCM
Ar @ 200 SCCM
N2 @ 200 SCCM
2006 vintage.
SPTS VPX Pegasus是一款全自動蝕刻器/asher，為直徑達200 mm的深層CD（DCB）和矽片、MEMS和其他基板的蝕刻/灰化提供批處理能力。是先進蝕刻、等離子體灰化、化學氧化物剝離的先進解決方案。VPX飛馬配有兩個加工室，一個蝕刻室和一個Ashing室。蝕刻室能夠處理功率高達2500瓦的復雜蝕刻配方。先進的蝕刻器可實現高選擇性比，並具有深CD的集成發生器。Ashing Chamber提供等離子體灰化、氣體灰化和化學氧化物剝離的高溫。先進的溫度控制和較高的熱傳輸率給出了一致和均勻的結果.SPTS VPX Pegasus是一種全自動蝕刻/灰化設備。它提供計算機控制的設置和進程執行,以及內存存儲和恢復,以確保一致的進程結果。工廠安裝的配方模塊允許將蝕刻配方保存到安全配方庫中。該系統還采用了熱管灰化技術，提供快速循環時間和自動晶片加載裝置，便於基板的裝卸。機器還包括端點檢測、特征識別、粒子檢測等高級過程分析。粒子檢測功能可直接驗證蝕刻/灰化過程的結果。VPX Pegasus專為滿足蝕刻和灰化工藝的高端工業應用而設計。它提供高精度、可重復的結果、高吞吐量和強大的處理能力。該工具非常適合用於MEMS、矽、GaAs和其他高級蝕刻和灰化應用的高端基板。
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