二手 SSEC Evergreen Series II 203 #9260711 待售
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單擊可縮放
ID: 9260711
晶圓大小: 6"
Photoresist wafer etchers, 6"
Chemical storage
Wafer transfer cabinet
Transfer cabinet
Stainless steel
Recirculating chillers
With (2) pumps / LG HPC Coolers.
SSEC Evergreen Series II 203是一款為客戶晶片集成處理而設計的蝕刻器/asher。該設備旨在為晶片應用提供經濟高效的解決方案,如圖樣傳輸、蝕刻、薄膜沈積和計量,從而實現高通量晶片制造。Series II 203基於可靠耐用的Evergreen Series II平臺,另外還具有高精度晶圓處理系統,以確保客戶晶圓的無縫高效處理。Series II 203利用直驅技術，達到更高的精度和生產質量。這種高性能、資源效率高的蝕刻器/asher使用精確、精確的集成運動控制和直接驅動技術來提供客戶晶片處理的最佳質量和可重復性。此外,該設備還采用了先進的預熱氣相沈積和蝕刻（PPVE）工藝,能夠在客戶晶片上產生極薄且密密麻麻的特性。Series II 203配備了可靠的10位機器人控制的晶片處理系統，使得多個晶片的處理成為微風。此外,它還具有一個有效的流板接口管理系統（FPI-MS）,可以對流程活動進行實時的連續監測和分析。此功能可針對特定客戶需求快速自動調整晶圓程序。該裝置具有耐用的不銹鋼腔室，真空額定值高達10+5 torr。此外，它還配有集成的石英窗口和嵌入式傳感器，用於溫度監測。Series II 203還附帶了一系列獨家技術，以確保所加工材料的最高質量和統一性。這些技術包括載氣、工藝漂移、晶圓批次優化以及先進的數據記錄功能。安全方面，II系列203配備了一大堆先進的安全特性。它利用聯鎖、防撞系統和故障安全機制來保持人員和晶片的安全。最後,該設備采用了一系列用戶友好的接口和控件,使設備的操作和維護變得輕松、方便。
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