二手 STS 310PC #9082946 待售

STS 310 PC是按照最高質量標準構建的先進蝕刻和灰化設備,旨在滿足領先半導體器件制造商最苛刻的要求。該系統結合了緊湊圓滑的設計和先進的技術，為高產量的基材加工提供了理想的解決方案。310 PC蝕刻器和asher單元采用獨特的模塊化設計,可快速輕松安裝。這種模塊化機器包括最多兩個蝕刻室、兩個灰化室以及每個室可調節真空設置的功能。刀具組件設計為可移動的，允許快速加載和卸載基板。集成的半導體盒式裝載機資產能夠處理許多不同尺寸的晶圓和基板。STS 310 PC蝕刻器和asher型號配備了可精確調整的整體真空設備，以滿足特定的處理要求。該系統的高級工藝監控提供了高精度的蝕刻和灰化功能。除了先進的技術特性外，該單元還在設計時考慮了用戶安全，提供了通過按下按鈕即可激活的應急特性。為提高性能和可靠性,310臺PC蝕刻機和asher機采用空氣監測和洗滌工具,包括在汙染物含量超過安全限值時自動關閉腔室。為了優化資產運行和減少維護，該型號配備了自動裝載機清洗設備，以及用於晶片盒的防堵塞系統。此外，該系統還設計了低壓排氣裝置，以減少設備周圍的顆粒堆積，並通過PLC控制溫度控制來確保基板的精確加工。先進的STS 310 PC蝕刻機和asher機設計滿足最嚴格的半導體加工要求，同時遵守行業標準的安全要求。這種精密的工具能夠實現最高的精度和可靠性，並且非常適合中高容量的基板加工。