二手 STS / CPX MESC Multiplex #9185203 待售
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ID: 9185203
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Plasma etcher, 6″
Loadlock system
Al Chamber
Dual chlorine gas and BCL3
Injection of gas mixtures: N2, O2, SF6, (C4F8), CF4, BCl3, Ar, Cl2 and HBr
Pumps:
Roughing pump
Diffusion pump
Turbo molecular pump
Pumping system: MP, DP & TMP
Inductively coupled plasma: RF1 kW
RF Generator: 13.56 MHz / 0 to 300 W
1998 vintage.
STS/CPX MESC Multiplex是最先進的蝕刻器和asher。它專為制造微電路、微機電系統（MEMS）和微電子封裝等精密電子設備而設計。STS MESC Multiplex基於電化學蝕刻工藝，具有精密的專利兩級、多級（STS）邏輯，允許精確控制多個、同時微米級鋁、銅和黑色電極的無稀土蝕刻過程。這使得蝕刻器在廣泛的材料上高效、精確。CPX MESC Multiplex是一個緊湊的系統，只需要極少量的晶圓表面就可以開始蝕刻。它的力量和規模使其非常適合小型、實驗室和研究應用。MESC Multiplex具有現代直觀的界面，極易使用。整個蝕刻過程可以進行監控和控制，允許用戶調整蝕刻速度和電流、蝕刻保護時間、蝕刻區域和冷卻風扇速度等參數。該機器能夠蝕刻形狀和圖案，幾乎沒有表面缺陷，低壓輸出和極寬的晶圓覆蓋。單獨的電動機可以精確放置各種智能口罩、芯片和其他此類細膩、敏感的電子零件。STS/CPX MESC Multiplex配備了前面板顯示屏、鍵盤和操縱桿，便於操作。所有參數均可根據需要輕松訪問和調節。總體而言，STS MESC Multiplex為各種微電子應用提供了一個相當高效和精確的蝕刻系統，特別是那些空間限制很緊的應用。它具有多種設置、功能和易操作性，是滿足廣泛蝕刻要求的完美系統。
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