二手 STS / CPX Multiplex ASE ICP #9139666 待售

STS/CPX Multiplex ASE ICP是一款先進的晶體板蝕刻器，用於半導體和太陽能工業應用。它是一款具有卓越速度和精度的並行處理蝕刻器，旨在在最復雜的蝕刻環境中實現極高的吞吐量。它是一種全自動設備，在一個平臺中結合了多個蝕刻過程，並在整個蝕刻過程中提供完整的系統控制。STS Multiplex ASE ICP配有三個蝕刻模塊，用於多個晶圓的同時制圖。它有一個先進的集成風扇輸出模塊，用於從主盒式磁帶到晶片支架的高精度模式傳輸，確保快速周轉時間和精確蝕刻結果。大的12英寸晶圓容量允許在一個負載中蝕刻多個基板。CPX Multiplex ASE ICP在閉環單元下運行，以確保完整的過程控制。它配備了由氣體混合室、真空源和離子源組成的先進氣體控制機器。氣體控制工具還應用了非常精確和受控的蝕刻氣流，以確保均勻蝕刻。Multiplex ASE ICP還提供極其精確的陣列功能。它擁有集成的圖像處理資產，利用高分辨率攝像機準確確定蝕刻位置。該模型還具有先進的源功率控制和沈積控制，具有良好的形狀精度和低溫變形。此外,該機器還配備了100%的隔離設備,以保護過程敏感材料。其先進的冷卻系統使用多個散熱器，以確保快速均勻的晶圓冷卻。冷回路確保晶圓的快速循環利用,可重復蝕刻復雜形狀.總體而言,STS/CPX Multiplex ASE ICP是一款先進可靠的蝕刻器,適用於形狀復雜復雜的設計。該機可靠高效,提供高精度蝕刻和全過程控制.憑借其多樣的蝕刻能力，可以為各種半導體和太陽能工業應用提供巨大的成果。