二手 STS / CPX Multiplex ASE ICP #9179213 待售

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ID: 9179213
晶圓大小: 6"
Etcher, 6" Manual load Single wafer load lock Standard rate ASE PFEIFFER TMH 100PC Turbo pump TCP 600 Controller RF Trolley ENI ACG3 300W RF Power supply for lower electrode ACG10B 1000W RF Power supply for upper electrode Tuner Remote gas box: (4) MFCs (Ar,O2, SF6, C4F8) 208V.
STS/CPX Multiplex ASE ICP 蝕刻器/asher是一種高度先進的蝕刻和灰化晶片工具。它是一種多區域設備,允許在不同的腔室同時進行不同的蝕刻和灰化過程。該系統配備了高頻電源和精密的數字控制系統,使用戶能夠完全控制蝕刻和灰燼過程。STS Multiplex ASE ICP 蝕刻器/asher是一個高效的單元,提供感應耦合等離子體(ICP)蝕刻和灰化。它被設計成在高壓下運行不穩定和連續,從而提供優越的晶圓光潔度和均勻性。機器的等離子體源和集成的射頻匹配網絡經過精心設計,使等離子體中的氫稀釋最小化,有助於確保非常光滑的薄膜輪廓。CPX Multiplex ASE ICP 蝕刻器/asher的ICP腔室也被設計為適應高功率密度和高壓操作,使其成為最復雜蝕刻作業的理想選擇。它具有銅襯裏,有助於降低寄生電容和提高重復和規範控制蝕刻過程。此外,腔室特別設計的墻條確保了蝕刻區域的全360度覆蓋。Multiplex ASE ICP 蝕刻器/asher配有高分辨率數字成像工具,可以在蝕刻過程中精確監控和測量晶片的形狀和輪廓。此資產還允許用戶存儲和召回結果,並將其用於監視隨時間推移的蝕刻過程。STS/CPX Multiplex ASE ICP 蝕刻器/asher是一種非常可靠的工具,能夠及時提供高質量的結果。它為各種晶片的蝕刻和灰化提供了一個先進的平臺,使高度復雜的過程能夠快速高效地完成。這使得該模型非常適合應用於各種工業、醫療和汽車領域。
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