二手 STS / CPX Multiplex ASE ICP #9398827 待售

STS/CPX Multiplex ASE ICP（感應耦合等離子體）蝕刻器/asher是一種最先進的蝕刻和灰化設備，旨在提供廣泛的圖樣和表面處理應用。它結合了多個獨立蝕刻和ashing子系統在一個單一的集成平臺內。STS Multiplex ASE ICP 蝕刻器/asher的設計提供了一種替代手動灰度的方法,其通用的光電系統可同時控制等離子體條件、氣流和射頻功率。該單元利用ICP技術實現了出色的跨基板和精細表面分辨率的蝕刻均勻性，同時解決了高密度集成電路產品的蝕刻和灰化要求。機器在一個盤櫃中包含多個蝕刻室，以提高產量。STS Multi-Plex ASE的400和600瓦RF源允許針對每個蝕刻步驟優化等離子體密度，提供高水平的控制。每個步驟都可以有自己獨特的配方，允許嚴格控制蝕刻深度和特征大小。CPX Multi-Plex ASE還提供先進的氣流控制，以盡量減少耗材浪費，保持嚴密的過程控制。這是通過強大的多級氣流控制工具實現的。氣流控制器可以靈活地劃分多達10種不同的氣流配方和工藝流程。STS/CPX Multi-Plex ASE還具有高精度晶圓加載資產，允許最大吞吐量和最小化非生產性時間。此模型可確保晶圓對齊和穩定,同時將吞吐量提高50%。總之,CPX Multiplex ASE ICP是一種先進的蝕刻器/Asher,與手動Ashing相比,它提高了產量和吞吐量。該設備具有ICP技術、射頻源、氣流控制、高精度晶片加載等特點，可實現集成電路產品的快速、準確、可靠的蝕刻和灰化。