二手 STS / CPX Multiplex ASE #293748419 待售

STS/CPX Multiplex ASE是利用先進的等離子體蝕刻和灰化技術，以高精度和高精度蝕刻和灰化基板的蝕刻器或灰化器。這種等離子體蝕刻和灰化系統可以蝕刻包括矽、玻璃和金屬在內的多種基板。STS Multiplex ASE采用多級分段反應堆設計，為各種晶圓尺寸提供高密度等離子體蝕刻和灰化，可重復吞吐量高達每小時9個晶圓。CPX Multiplex ASE可以同時利用兩個進程，允許用戶使用兩個可擴展托盤同時蝕刻兩個基板。托盤可以從8 「x 8」擴展到8 「x 11」，以適應一系列晶圓尺寸。Multiplex ASE提供反應物氣體和射頻（RF）功率的靈活匹配，以優化特定應用的工藝參數。其靈活的工藝參數匹配提供了高度可重復的結果和經過多年開發和測試完善的工藝可靠性。STS/CPX Multiplex ASE具有內置冗余功能,可在執行流程時考慮任何氣體或RF故障安全情況。STS Multiplex ASE能夠進行犧牲蝕刻、深反應性離子蝕刻、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）以及基於等離子體的微波和功率致密處理等蝕刻應用。CPX Multiplex ASE有一個可定制的基板支持系統，使晶圓和基板的處理變得容易和可重復。在需要進行任何類型的維護之前，它還被評定用於處理多達一百萬個晶圓或基材。Multiplex ASE還具有一個用戶友好的界面,用於控制應用程序和配方,使其在需要更改時易於使用和響應。STS/CPX Multiplex ASE是一種用戶友好且精確的蝕刻器和Asher，可以提供過程組件的靈活匹配和精確的結果。該系統采用先進的等離子體蝕刻和灰化技術，非常適合許多基板，包括矽、金屬和玻璃。STS Multiplex ASE通過內置冗余來解決任何氣體或RF故障安全方案,並能夠在需要維護之前處理多達一百萬個晶圓,因此可以輕松集成到任何流程中,並提供可重復和精確的結果。