二手 STS / CPX Multiplex ICP #293609292 待售

STS/CPX Multiplex ICP是一種蝕刻器和asher技術，用於創建高質量的微電子元件。它是業界的基準技術,提供高吞吐量、可靠的工藝結果和降低的材料成本。此技術采用模塊化設計,可以適應客戶的特定需求。STS Multiplex ICP是一種等離子體蝕刻器和asher，設計用於制造半導體晶片和進行MEMS結構，包括光刻和蝕刻掩蔽層。該設備采用先進的ICP（感應耦合等離子體）技術，可針對幹蝕刻、濕蝕刻和灰化等各種等離子體工藝量身定制。它還具有由PC基本控制器觸發和控制的能力。CPX Multiplex ICP是一個包含蝕刻和灰化功能的單室系統。蝕刻過程基於低頻感應耦合氣動微波源。這意味著該單元可以有效地管理蝕刻步驟，而無需單獨的腔室。該機利用特殊技術，將等離子體均勻地分布在較大的基板區域。這提供了對蝕刻過程的精確控制,並允許一致的結果。Ashing process is based on a standard atmosphic pressure chemical oxygen該工具還配備了自動晶片加載功能，具有高達每小時12個晶片的高吞吐量。它具有精確的溫度控制資產，保持穩定的溫度以防止基板上的任何熱損壞。它還具有先進的處理監控能力，以確保可重復的結果。多重ICP是高性能微電子應用的理想解決方案。容易與各種流程監控系統集成，兼容各種軟件程序進行精確處理控制。此蝕刻器和asher模型提供了出色的可重復性和高吞吐量,提高了生產率、節省了成本並提高了產量。