二手 STS / CPX Multiplex ICP #293633096 待售

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ID: 293633096
Advanced Oxide Etcher (AOE).
STS/CPX Multiplex ICP(感應耦合等離子體)蝕刻器/asher是一種先進的設備,用於底物的反應性離子蝕刻和灰化。利用強大、高效的電感耦合等離子體(ICP)源提供高速、高精度、均勻的蝕刻和灰化操作。該系統能夠處理各種需要蝕刻或灰化的基材,包括金屬、電介質、半導體和復合材料。STSGCPX STS Multiplex ICP 蝕刻器/asher結合了標準STS機的行之有效的性能和高級特性以及高性能ICP源,使非常苛刻的基板能夠蝕刻和粉刷。ICP源提供高離子密度、高能離子轟擊,通過精確控制的噴嘴引導到基板上,以實現均勻蝕刻或灰化。該單元還提供了無與倫比的均勻性和可重復性,能夠在較高的蝕刻速率下達到微米精度的分數。該機包括一個集成的加工室,能夠進行多個過程周期和廣泛的溫度範圍。集成氣體輸送工具可精確控制氣體化學流動和壓力,有助於最大限度地提高蝕刻速率,減少基板和腔室的汙染。該資產還配備了用戶友好的多屏圖形界面,允許用戶輕松操作,方便卓越性能。CPX Multiplex ICP 蝕刻器/asher使用戶能夠安全、高效和準確地蝕刻和粉刷各種材料,包括介電材料和金屬材料。該模型具有高容量的可生產性、高可重復性、出色的冷卻能力和低成本的操作成本,使其成為蝕刻和灰化制造、原型設計和研究應用的理想選擇。該設備用途廣泛,能夠處理各種基材和應用,能夠根據用戶的個人需求定制其操作。
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