二手 STS / CPX Multiplex ICP #293684725 待售
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STS/CPX Multiplex ICP是一種針對高精度蝕刻和灰化工藝而設計的蝕刻器/灰化器,非常適合實驗室環境。該蝕刻器/asher具有集成的模塊化設計,具有數字溫度、氣體和壓力控制功能。STS Multiplex ICP使用離子化或基於等離子體的蝕刻和灰化技術，使用的是氙氣、氙氣或k氣，在廣泛的基材上實現極為精確的蝕刻工藝。該設備利用脈沖直流電和特定射頻（RF）的混合，產生電離粒子或等離子體，然後輸送到基板表面。精確的頻率保證了獲得恰到好處的等離子體溫度和密度，以達到所需的精確蝕刻和灰化過程。該系統利用多個供電通道確保精確甚至等離子體輸送，確保即使是最敏感的基板也能精確蝕刻或粉刷。CPX Multiplex ICP的精確等離子體和功率傳遞，即使是最細膩的基板也能蝕刻和灰燼，沒有損壞的危險。該裝置以變頻和功率水平運行，使操作員能夠根據基板的類型和厚度量身定制蝕刻工藝。通過包括變頻調諧，進一步提高了機器蝕刻和灰化工藝的精確度，這有助於在多個目標和基板上保持一致的工藝產量和可重復性。該工具也非常精確和通用，擁有高達10,000厘米/秒的工藝窗口，溫度和壓力控制分別高達400攝氏度和0.001mBar攝氏度。Multiplex ICP的多功能電源傳遞資產允許在各種基板上完成各種蝕刻和灰化過程。來自STS的STS/CPX Multiplex ICP是一種高度精確且用途廣泛的蝕刻和灰化模型,專為實驗室環境量身定制,提供精密蝕刻和灰化工件,即使在最精致的基板上也是如此。該設備具有數字溫度、氣體和壓力控制、多通道供電和變頻調諧，以確保精確和可重復的蝕刻和灰化過程。系統的蝕刻和灰化過程可以在高達10,000厘米/秒和高達400攝氏度的溫度下完成。
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