二手 STS / CPX Multiplex ICP #293807045 待售

STS/CPX Multiplex ICP是一個蝕刻器/asher。它旨在提供精密蝕刻、灰化和物理/化學處理。該設備利用多環反應化學手段提高效率和控制。STS提供卓越的蝕刻和灰化性能,蝕刻速率高達20nm/min,並具有可選的N2O低能耗非接觸蝕刻（LENTE）功能。多重蝕刻室系統提供了自動、精確的蝕刻步驟定義，能夠在多個蝕刻室中並行執行復雜的蝕刻序列。該單元的批量最多為24個200 mm （8英寸）的基板單元,方向為面向,或在Si載波中密封,功率最大為1500W RF。ICP的腔室設計包括一個裝有幾個感應耦合等離子體源的反應腔室，這些源可以彼此獨立運行，使機器能夠輕松地在多個蝕刻或灰化化學之間切換。該工具配備了配方定義、自動對焦、運行時X射線監控等自動化功能，用於精確厚度控制和深度剖面操作。此外,STS Multiplex ICP還提供獨特的散熱管理功能,例如采用四個高性能風扇來優化換熱效率,以及選擇冷卻時間和溫度。ICP設計還允許用戶選擇他們首選的晶圓審批資產。外部閉環伺服掃描儀可用於晶片逐個載荷和卸載操作，或者集成的自動晶片載荷掃描儀可用於自動化過程。此外，ICP還配備了內部電源和控制模型，允許用戶自定義自己的流程參數，以實現最大的可重復性。CPX Multiplex ICP設計用於MEMS、RF-MEMS、半導體和集成電路的制造和封裝。它是各種應用的理想解決方案,從高精度蝕刻、灰化和物理/化學加工到快速生產高質量設備。ICP的高級設計、性能和靈活的功能使其成為各種蝕刻和灰化應用程序的理想選擇。