二手 STS / CPX Multiplex ICP #9158194 待售

STS/CPX Multiplex ICP是一種蝕刻器/asher,設計用於在高級技術環境中處理多個蝕刻/灰燼操作的過程列。該設備具有集成設備，可同時用於雙化學環境和處理多個晶片。此功能允許用戶減少操作時間並提高效率。STS Multiplex從ICP蝕刻系統開始。該單元的工作原理是允許將材料從晶片上剝離,以便在預定義的地形中創建陣列。帶電粒子密度高的等離子體由低壓室產生，用於從晶圓中剝離材料。然後它穿過一系列屏蔽，將腔室與外界環境隔離開來。蝕刻過程完成後,晶圓將被轉移到灰化機。該工具類似於用於蝕刻的資產，但使用了不同類型的等離子體。這種等離子體產生高密度的自由基，分解晶圓上的有機汙染物。然後，晶片經過一系列加熱的烤箱，這些烤箱幹燥並除去剩余的汙染物。CPX Multiplex是一種可靠的高性能機型,具有多功能性和精確度。該裝置是可調的，可以編程蝕刻和灰燼各種材料。該設備還具有監控算法，用戶可以根據需要監控和調整流程參數。這對於確保最高質量的蝕刻和灰化效果非常重要。STS/CPX Multiplex技術的改進使其成為產生一致質量蝕刻和灰化的最可靠和最有效的方法之一。該系統非常適合IC制造和MEMS生產等先進技術操作。STS Multiplex旨在提供通用、精確的流程功能,同時提高整體生產效率。