二手 STS / CPX Multiplex ICP #9165960 待售

STS/CPX Multiplex ICP 蝕刻器/asher是各種工業應用的可靠且經濟高效的工具。本機精度高，用於射頻等離子體中的小幾何特征層。該設備提供多達8軸完全集成的基板處理,可依次蝕刻、灰燼和加工不同形狀和大小的材料。STS Multiplex ICP蝕刻/灰分機采用高效、先進的離子生成工藝和技術，工藝均勻性極佳，處理成本降低。該系統利用一個專有的、曲線型、無光門的光源進行可控蝕刻輪廓,並具有卓越的均勻性控制。在同一進程模塊中可以使用多個源。高級蝕刻/灰分過程包括控制單元、負載鎖、腔室、射頻發生器和可選的Robot臂模塊等組件。控制機包括工具、PROM編程和維護軟件，以及板載過程監控資產。負載鎖包含雙角色腔室,能夠在不同腔室配置中進行蝕刻/灰燼應用。CPX Multiplex ICP蝕刻/灰機具有靈活的過程控制，具有可調低壓等離子體源，用於蝕刻多種材料。蝕刻過程基於頻率、功率、氣體生產等自變量參數的控制。射頻發電機提供精確、受控和可重復的性能。這臺機器為蝕刻和灰燼步驟的精確重復性提供了最佳的射頻頻率選擇，以創建完美的結構。SRF電源可實時監控調整。可選的機器人手臂模塊可自動移動基板和從負載/卸載鎖。手臂的運動可以被編程，以提高精度和減少停機時間。該模型具有自動腔室通風程序，提高了安全性和便捷性。蝕刻過程包括壓板等離子體預處理、離子暴露調理、濺射預傾斜。多路ICP蝕刻/灰分機是射頻等離子體小幾何特征精確控制的絕佳選擇。此蝕刻器/asher提供了卓越的耐用性和低成本。它是一種可靠、高效且經濟實惠的機器,適用於各種制造應用。