二手 STS / CPX Multiplex ICP #9210326 待售

STS/CPX Multiplex ICP（感應耦合等離子體）是一種先進的蝕刻/灰化設備，設計用於半導體制造。它是一個半導體器件制造系統，利用感應的力量在晶圓表面蝕刻圖樣。它使用一個強大的，電離氣體等離子體創建模式，以最小的細節在高精度水平。等離子體是由兩個射頻耦合到氣體（如氟化氣體）產生離子或帶電粒子而產生的。這些帶電粒子在一個封閉的室內以極高的速度傳播，並與樣品晶片的表面發生反應，形成蝕刻圖樣。構成這種等離子體的電子通過電路板加速，產生高速推進過程，允許進行詳細的蝕刻。STS Multiplex ICP以創造極高精度的亞微米模式的能力而聞名。蝕刻是在高真空室中進行的，以便對等離子體環境進行最大程度的控制，並且借助先進的部件和定制軟件，該單元可以以高速精度創建精細的圖樣。CPX Multiplex ICP可以在鈍化模式下運行，利用層來保護樣品上任何暴露的金屬。這降低了在諸如潔凈室等反應性環境中蝕刻時損壞或汙染的風險。該機還適合蝕刻成石英、氧化鋁、藍寶石等硬質材料，使用戶可以精確蝕刻錯綜復雜的細膩結構。總體而言,STS Multiplex ICPAsher是半導體行業中非常有價值的工具。其獨特的速度、精度和圖案精度組合，使其成為需要在基材上創建錯綜復雜圖案的制造商的理想選擇。其精密的工具設計、先進的元件和易於保護的模式使其成為高質量、高通量生產精密蝕刻元件的絕佳選擇。