二手 STS / CPX Multiplex ICP #9363068 待售
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STS/CPX Multiplex ICP是一款高端蝕刻/等離子體灰化設備，具有處理包括氧化矽和石英在內的多種基板的能力。它具有多插槽自下而上的裝載機，最多可支撐12個基板和兩個加工室。該工藝室具有內置冷卻風扇和獨立的高頻電源,用於蝕刻和灰化。灰化工藝提供了碳化物和石英基板的重復結果。該系統基於Addison Engineering Advanced Digital Imaging Technology （ADIT），這種先進的成像技術在每次通過時提供基板的高分辨率圖像，提供精確的過程控制。該單元可用於在MEM、LCD等特種材料上蝕刻和粉刷矽片、金屬、石英等各種基材。也可用於蝕刻和粉刷薄膜層，用於光刻工藝。該機具有內置的自動調諧功能，可用於調整過程參數以確保可重復結果。該工具還具有內置的計算機控制資產，可用於監測和控制單個位置的蝕刻和灰化過程。該模型還具有安全聯鎖系統，以防止任何潛在的事故。STS Multiplex ICP可用於半導體、醫療設備、光伏、LED、MEM等多種行業。該設備還與包括氟化氫、鹽酸、硫酸和氯基化學品在內的多種化學品兼容。該系統還配備了安全功能，保護用戶免受危險化學品和煙霧的影響。CPX Multiplex ICP是一種非常可靠的蝕刻/等離子體灰化裝置，提供一致的結果和可重復性。該機易於使用，自動化控制功能使監控過程變得簡單。該工具是一個方便和經濟高效的選項，蝕刻和灰化各種基材。
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