二手 STS / CPX Multiplex ICP #9363071 待售
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STS/CPX Multiplex ICP是利用感應耦合等離子體（ICP）在各種基板（如矽和聚合物以及玻璃和其他材料）上創建物理掩碼的自動感應耦合等離子體蝕刻器/Asher。ICP 蝕刻器/asher為工業和研究應用提供了高精度、高分辨率成像、沈積和蝕刻/灰化的經濟高效解決方案。STS Multiplex ICP是一種高度通用的設備,能夠處理各種基材和材料。它使用基於ICP的技術提供精確、可重復的物理掩蔽和最小殘留。用於創建等離子體的高壓脈沖技術（HVIT）提供了一種低成本、高通量的解決方案,用於在高度敏感的基板上進行蝕刻和灰化應用。CPX Multiplex ICP的寬過程窗口確保了非常均勻的結果,即使在小型基板（如MEMS傳感器和芯片）上也是如此。設備可驅動軟件操作方便，保證了可重復、高質量、蝕刻速率可靠的效果。軟件控制,例如脈沖能量和脈沖重復率,使用戶能夠自定義和控制過程參數。該系統配備了直觀的電子可控用戶界面，使用戶能夠根據需要監控和操作蝕刻參數。Multiplex ICP專為高長寬比和低長寬比基板而設計,確保了一致的結果。它具有高角度沈積能力，能夠以高精度制造復雜結構，為用戶提供多種選擇，以高精度生產復雜的口罩。STS/CPX Multiplex ICP設備還具有加固的EDGE加熱單元,可高效可靠地運行。EDGE允許基板加熱以實現高速蝕刻和灰化。EDGE機器能夠處理各種尺寸（內部或外部）且溫度範圍很廣的基板,可確保均勻的溫度以保持一致的蝕刻速率和均勻的遮罩形狀。強大的全球支持網絡可確保在需要時提供維護和技術援助。將工具連接到網絡的能力允許在緊急情況下進行遠程故障排除和技術支持,從而大大減少了停機時間並提高了工作效率。總之，STS Multiplex ICP是一種先進的蝕刻器/asher，在廣泛的底物上提供了出色的均勻性和可重復性。它結合了價格合理、可靠的EDGE加熱資產、強大的軟件控制和全球支持網絡,使其成為蝕刻/灰化的理想選擇。
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