二手 STS / CPX Multiplex #293601086 待售
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ID: 293601086
Advanced Oxide Etcher (AOE)
Loadlock module, 4"
AOE Chamber module
LEYBOLD Mag-Lev Turbo pump: 2000 L/sec
ICP Chamber.
STS/CPX Multiplex是一種蝕刻器/asher，是一種計算機控制的設備系統，用於半導體工業中各類材料的精密蝕刻和灰化。它由兩個主要組成部分組成；基板轉運站（STS）和計算機輔助等離子體蝕刻工藝（CPX）。STS/CPX是一種用於將晶片從負載/卸載端口安全移動到asher/etcher腔室的設備。STS由一組機電臂、一個安全運輸模塊和一個刀具更換器組件組成。這些臂的設計是通過使用精確的運動夾緊晶片來固定晶片，以確保晶片在機器內的精確對準。刀具更換器裝配負責更改蝕刻和灰化過程中可能需要的任何必要零件或元件。CPX是計算機控制的蝕刻和灰化系統,是STS/CPX的一部分,可精確控制蝕刻和灰化過程的各個方面。這包括對溫度、壓力以及流量、功率和時間的精確控制。通過使用高級軟件界面優化和控制蝕刻參數,STS旨在提供高質量的蝕刻和灰化結果。STS Multiplex將CPX刀具更換器的精確度與計算機輔助等離子體蝕刻工藝相結合，創建一個能夠在蝕刻和灰化方面取得非凡成果的蝕刻器。該蝕刻器能夠實現各種基材材料和工藝的高重復性和準確性。它還具有易於重新配置以適應特定應用程序要求的能力,使其成為那些需要獲得可靠、準確和可重復蝕刻結果的用戶的理想選擇。
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