二手 STS / CPX Multiplex #293824464 待售

STS/CPX Multiplex是專門為半導體晶圓制造量身定制的等離子體蝕刻設備。這種通用工具可以處理各種各樣的應用，從高密度光刻到低壓氧化物蝕刻。STS Multiplex利用革命性的多級處理系統，對蝕刻氣體成分和溫度提供精確的控制，從而允許用戶量身定制蝕刻參數，以滿足其特定的工藝需求。CPX Multiplex由兩個或四個獨立、獨立可控、具有真空能力的處理室組成。這使用戶能夠在蝕刻前使用CVD或濺射工藝對基材進行預處理，並進行鈍化和沈積等蝕刻後處理。為了進一步優化處理條件,Multiplex還提供了連接到中央氣體和真空實用程序的功能,使用戶能夠使用LabView界面自動控制氣體濃度和溫度。STS/CPX Multiplex提供三種不同的蝕刻方法。第一種選擇是高密度、高溫混合氣體等離子體蝕刻（CGP）。這種方法依賴於高濃度氧氣，He，和Ar到底物的有效遷移，以創建活性價位點，並確保均勻均勻的蝕刻模式。第二個蝕刻選項是低密度、低溫的臭氧蝕刻（OZ）。這種方法以受控的方式排放臭氧分子，以便制造「蝕刻口袋」進行更深的蝕刻。同時，第三個蝕刻選項是低溫氧離子蝕刻（OI）。這種蝕刻方法在需要超淺蝕刻時使用，以及在尋求極一致的蝕刻深度時使用。這三種方法均采用高溫防煙石英鈴保護。此外，STS Multiplex單元還配備了最先進的安全傳感器和實時監控，以確保安全可靠的蝕刻工藝。其中包括氣體監測傳感器、泄漏探測器、氧氣傳感器、速度監視器和溫度監視器。此外，機器還包括內置晶圓處理工具，允許晶圓傳輸和加載。總體而言,CPX Multiplex是一種功能強大、用途廣泛的蝕刻資產,允許用戶根據自己的特定需求定制蝕刻過程。這使得它成為任何半導體光刻或深度蝕刻應用的理想選擇。