二手 STS / CPX Multiplex #9071736 待售

STS/CPX Multiplex是一種為光掩模基板的高通量處理而設計的蝕刻/asher設備。它使用多重蝕刻/灰化技術來處理各種各樣的應用要求,包括高寬高比（HAR）蝕刻/灰化、側面蝕刻/灰化以及其他先進的工藝技術。該系統的設計具有穩定性、一致性和高吞吐量,能夠在一次運行中處理多達200個樣本。該裝置的核心是一個高精度的雙探頭級，在嚴格的過程控制參數內運行，以確保重復和可靠的蝕刻/灰化結果。雙探針提供極好的精度,允許進行廣泛的工藝參數調整。該機還配備了集成掃描技術，可以讓用戶快速準確地生成適當的蝕刻/ashing蒙版。這顯著有助於提高高精度過程的準確性和速度,減少周期時間並提高吞吐量。該工具先進的端點檢測能力確保了對關鍵工藝步驟的準確監控，大大降低了過度和不足蝕刻/灰化以及汙染風險。STS Multiplex使用低磨損技術處理多種材料,包括單層和雙層光掩模,並在多個作業上提供一致的蝕刻/灰化結果。CPX Multiplex系統具有完整的數字控制,允許對所有適用的材料進行精確和統一的蝕刻/刻蝕,並降低操作員錯誤風險。這些系統還配備了可靠的端點檢測功能,可實現準確的產品吞吐量和統一的結果。該資產包括一系列可選的硬件和軟件功能,包括高分辨率實時溫度監控、實時繪制蝕刻/灰化曲線以及集成的、用戶友好的圖形界面。該模型具有廣泛的工藝參數，可根據具體應用進行調整，並同時應用，提供精確可靠的工藝控制。多重蝕刻器/asher系統兼容最新的蝕刻/灰化技術和材料，並與最先進的過程控制系統集成在一起。它堅固、功能齊全的設計為各種材料提供了高質量和可靠的蝕刻/灰化性能,其過程穩定性確保了對關鍵過程的監控和準確執行。該設備還提供最大的靈活性和多功能性,允許與各種應用程序要求和蝕刻/灰化材料兼容。該系統為用戶提供了一個高通量、高度可靠的蝕刻/灰化過程，以滿足最嚴格的應用程序的需求。