二手 STS / CPX Multiplex #9087826 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9087826
ICP Etcher, 6"
Load lock Capability:3,4,5,6,8 inch
Pumps: not included
Helium Back side cooling
Generators : ENI ACG3 for Bias; ACG10 for Coils; VL400 Phase Shift Controller
STS AC Box
STS Purge Panel Assembly
Chiller: not included
Remote Gas control Gas Box with 5 gas line configuration:
SF6
C4F8
C4F8
O2
Ar.
STS/CPX Multiplex是一種蝕刻器/asher設備,能夠在單個過程中處理不同類型的材料。主要用於PCB(印刷電路板)、平板顯示器、薄膜和玻璃基板的蝕刻和灰化。蝕刻/asher系統由一個集成平臺構建,該平臺有兩個獨立的反應堆,每個反應堆都有自己的獨立驅動器。蝕刻和灰化過程由獨立控制的STS Multiplex驅動器系統控制。每個驅動器單元都配置有特定於所使用的工藝和材料類型的唯一參數。CPX Multiplex機利用連續等離子體蝕刻/灰化技術,以優異的寬帶蝕刻/灰度輪廓實現高蝕刻和灰分比。該工具提供了可調範圍的蝕刻和灰分水平,以達到特定於所使用的材料的最佳結果。此蝕刻器/asher資產旨在通過PC進行控制,以獲得最佳性能。控制單元可用於並行運行多個進程,以節省生產運行時間。Multiplex還能夠一次進行模具蝕刻和單步鈍化過程,從而無需單獨的蝕刻和鈍化過程。該機采用LIDS控制的等離子體蝕刻技術實現了模具蝕刻。模具蝕刻工藝能夠產生高長寬比和高分辨率,墻壁光滑,無弧形。STS/CPX Multiplex是一個可靠、高速、高效的蝕刻器/asher平臺。它配備了各種安全功能,包括敞篷設計、聯鎖、溫度監測和超壓報警。STS Multiplex系統采用嚴格的質量控制,可提供快速周轉、高可靠性和出色的性能。它們旨在提供多年的可靠服務,使其成為各種應用程序和行業的理想選擇。
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