二手 STS / CPX Multiplex #9145668 待售
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ID: 9145668
晶圓大小: 8"
Cluster ICP etcher, 8″
Brooks VCE4 and Mtr5 robot
C033 Cluster handler
(2) Temperature controlled lids
Loadlock: Brooks VCE 4 with manual door
Corema chiller on metal ICP chamber
ICP Chamber (Metal, dielectric etch)
(12) process gas manifold
Bias capabilities
Chuck: Heat exchanger
Turbo pumps: TMH 100
Processed: Silicon etch
ICT Chamber (Asher / Stripper)
Gases: N2, O2, NH3, CF4
Turbo pump
NOAH Chiller.
STS/CPX Multiplex是一個專門的蝕刻器/asher，旨在幫助陶瓷包裝和其他基板如玻璃的蝕刻和修剪。STS Multiplex是一種高精度濕蝕刻/修整機，可廣泛應用。它具有集成的風冷真空設備，以實現最佳的蝕刻和修剪效果。該系統可以加工厚達18mm的基板，非常適合陶瓷、玻璃和其他基板的蝕刻和修剪。CPX Multiplex具有連接到可編程邏輯控制器（PLC）的強大泵機,能夠精確控制蝕刻和修剪過程。它配備了一個界面，允許用戶根據自己的特定應用進一步定制機器。這包括設置蝕刻和修剪壓力、速度和時間。它還具有多種內置安全功能,以確保工具安全高效地運行。Multiplex還配備了許多最先進的功能,使其成為尋求高級蝕刻和修剪解決方案的用戶的理想選擇。其高精度的測量資產使用戶能夠準確測量每一個蝕刻和修剪的深度，而其內置的對齊模型則確保蝕刻始終完美無缺。其先進的微處理器控制設備提供了過程與系統之間快速準確的數據傳輸，確保用戶的蝕刻始終優化到其精確的規格。綜上所述,STS/CPX Multiplex是一種理想的蝕刻和修剪機,適用於那些希望為各種應用提供超精確蝕刻和修剪解決方案的用戶。它具有集成的風冷真空裝置、附著在PLC上的強大泵機，以及先進的微處理器控制工具，可提供極致的蝕刻和修剪體驗。
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