二手 STS / CPX Multiplex #9162410 待售
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單擊可縮放
ID: 9162410
晶圓大小: 4"
優質的: 2002
ICP AOE system, 4"
Load lock
Previously used for oxide, pyrex, quartz etching
Process gases plumbed: C3F8, C4F8, SF6, CF4, Cl2, C2H4, O2, H2, Ar, He
(2) Affinity chillers
Chiller 1: RAA-005J-CE01CBD
Chiller 2: PWG-060K-BE33CBC2
Chuck: Mechanical clamp
LEYBOLD MAG 2000 CT turbo pump
MAG drive 2000 turbo controller
EDWARDS IQDP80 Dry pump
EDWARDS D40BCS Oil pump
MILLIPORE CDLD 1112E HE cooling manometer
ENI ACG-10B RF generator
AE RFG 3001 RF generator
Finger and ceramic ring has broken
208 V, 60 Hz, 3 phase, 80 A
Missing part:
Gas box
2002 vintage.
STS/CPX Multiplex 蝕刻器/asher是一種用於晶圓蝕刻和灰化的自動化設備。它設計用於在一個操作中同時粉碎和蝕刻多達8個晶片,以提高生產率、吞吐量和成本效益。STS采用不銹鋼腔室建造，提供穩定的環境，確保更長的使用壽命。它有一個高溫爐，能夠達到高達1300 °C的溫度，是蝕刻和灰化矽等材料的理想之選。系統還增加了調節工藝參數的能力，如溫度、工藝時間、氣體流量等。可以為每個配方預設ashing/etching過程,並在運行時監視。CPX具有先進的過程控制,包括自動時間排序、溫度斜坡分析和過程設置點管理。這允許用戶精確控制流程參數，如流速、溫度設定點和循環時間。能夠為蝕刻和灰化設計各種熱和溫度輪廓,使其成為最通用的蝕刻/灰化系統之一。STS/CPX利用高級監控單元來控制灰化和蝕刻過程。這包括室內壓力的實時感測、晶片狀態的顯示、壓力的自動校準和調整以獲得最佳的灰化/蝕刻性能,以及蝕刻/灰化過程的直接控制訪問。提供最高溫度均勻性，機器還具有獨特的晶圓處理工具設計，確保整個腔內所有晶圓的良好溫度均勻性。該資產配備了計算機控制的晶片升降機/定位，以及可選的手動升降機/定位。總體而言，STS Multiplex 蝕刻器/asher是高效、高通量晶圓蝕刻和灰化的絕佳選擇。憑借先進的工藝控制、精確的參數和均勻的溫度，是高效可靠生產的理想之選。
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