二手 STS / CPX Multiplex #9316685 待售

STS/CPX Multiplex是一款先進的蝕刻/asher設備，旨在滿足尖端微電子行業的需求。該系統采用多根離子束和激光光源，為眾多工藝提供精密蝕刻和灰化，包括但不限於三維蝕刻、深溝蝕刻、細線蝕刻、背面蝕刻、深蝕刻。它是一個完全自動化的單元,利用其最先進的軟件,用戶可以以前所未有的精確度和精確度快速配置幾乎所有蝕刻或灰化過程。機器由包含離子源、激光光源和其他必要組件的主腔室組成。離子源的設計使不同過程產生不同的離子束，同時將光束功率集中在樣品的特定區域。激光光源用於在樣品表面上創建二維形狀，既可用於蝕刻，也可用於灰度。此外,還可以對該源進行優化,以便在最需要的地方提供精確的激光電源,從而提高蝕刻和灰化效果。腔室中的其他組件包括晶圓安裝裝置、離子束過濾器和低溫冷卻工具。基於GUI的智能軟件控制蝕刻和灰化作業,相應地配置資產參數並控制過程的每個階段。用戶可以輕松地對蝕刻/ashing作業進行編程,包括梁傾斜、電流、梁速度、停留時間等操作。STS Multiplex還具有精確的現場蝕刻監測和過程灌溉功能,可隨著工作的進展進行調整,進一步提高其準確性。此外,該模型還配備了內置的配方庫,允許用戶回憶經常使用的流程,並根據需要進行進一步調整。總體而言，CPX Multiplex是一款先進、功能強大的蝕刻/灰燼設備，旨在滿足現代微電子行業的需求。得益於它的多向離子束、激光光源和智能軟件，它可以通過長時間的免維護操作提供極其精確的結果。